Các tính năng của kính hiển vi điện tử quét
Mặc dù kính hiển vi điện tử quét là một ngôi sao đang lên trong họ kính hiển vi, nhưng nó đã phát triển nhanh chóng vì nhiều ưu điểm độc đáo của nó.
1 Thiết bị có độ phân giải cao, và hình ảnh electron thứ cấp có thể được sử dụng để quan sát các chi tiết của bề mặt mẫu ở khoảng 6nm. Sử dụng súng điện tử LaB6, nó có thể được cải tiến hơn nữa lên 3nm.
2 Phạm vi phóng đại của thiết bị lớn và có thể được điều chỉnh liên tục. Do đó, bạn có thể chọn các kích thước khác nhau của trường nhìn để quan sát theo nhu cầu của bạn. Đồng thời, bạn có thể có được hình ảnh rõ nét độ sáng cao khó đạt được với kính hiển vi điện tử truyền thông thường ở độ phóng đại cao.
3 Quan sát độ sâu trường ảnh của mẫu, trường ngắm lớn, và ảnh có đầy đủ cảm giác ba chiều. Nó có thể trực tiếp quan sát bề mặt gồ ghề với những biến động lớn và gãy kim loại không đồng đều của mẫu, v.v., mang lại cho mọi người cảm giác như đang ở trong thế giới vi mô.
4 Việc chuẩn bị mẫu rất đơn giản, miễn là khối hoặc mẫu bột được xử lý hoặc không được xử lý một chút, nó có thể được quan sát trực tiếp trong kính hiển vi điện tử quét, vì vậy nó gần với trạng thái tự nhiên của chất.
5 Chất lượng hình ảnh có thể được kiểm soát và cải thiện hiệu quả bằng các phương pháp điện tử, chẳng hạn như tự động duy trì độ sáng và độ tương phản, chỉnh góc nghiêng mẫu, xoay hình ảnh hoặc vĩ độ cải thiện độ tương phản hình ảnh thông qua điều chế Y và độ sáng của từng phần của ảnh Vừa phải. Sử dụng các thiết bị phóng đại kép hoặc bộ chọn hình ảnh, hình ảnh có độ phóng đại khác nhau có thể được xem đồng thời trên màn hình huỳnh quang.
6 Phân tích toàn diện là có thể. Được trang bị máy quang phổ tia X phân tán bước sóng (WDX) hoặc máy quang phổ tia X phân tán năng lượng (EDX), nó có chức năng của đầu dò điện tử và cũng có thể phát hiện các electron phản xạ, tia X, huỳnh quang cực âm, electron truyền và Điện tử Auger, v.v. Mở rộng ứng dụng kính hiển vi điện tử quét sang các phương pháp phân tích vi mô và vi diện khác nhau cho thấy tính linh hoạt của kính hiển vi điện tử quét. Ngoài ra, cũng có thể phân tích các vùng vi mô tùy chọn của mẫu trong khi quan sát hình ảnh hình thái; với sự gắn kết của giá đỡ mẫu bán dẫn, ngã ba PN và các khuyết tật vi mô trong bóng bán dẫn hoặc mạch tích hợp có thể được quan sát trực tiếp thông qua bộ khuếch đại hình ảnh lực điện động. Vì nhiều đầu dò điện tử SEM nhận ra điều khiển máy tính điện tử tự động và bán tự động, tốc độ phân tích định lượng được cải thiện rất nhiều.