Phân loại cảm biến và nguyên lý làm việc
1, cảm biến áp suất piezoresistive
Máy đo biến dạng là một trong những thành phần chính của cảm biến biến dạng piezoresistive. Nguyên lý làm việc của máy đo biến dạng điện trở kim loại là một hiện tượng trong đó điện trở biến dạng hấp phụ trên vật liệu cơ sở thay đổi theo biến dạng cơ học, thường được gọi là hiệu ứng biến dạng kháng.
2, cảm biến áp suất gốm
Cảm biến áp suất gốm được dựa trên hiệu ứng áp điện. Áp lực tác động trực tiếp lên bề mặt trước của màng ngăn gốm gây ra biến dạng nhẹ của màng ngăn. Điện trở màng dày được in ở mặt sau của màng chắn gốm và được kết nối với một cây cầu Wheatstone do varistor. Hiệu ứng áp điện làm cho cây cầu tạo ra tín hiệu điện áp tuyến tính cao tỷ lệ thuận với áp suất, tỷ lệ thuận với điện áp kích thích. Tín hiệu tiêu chuẩn được hiệu chỉnh thành 2.0 / 3.0 / 3.3mV / V tùy thuộc vào phạm vi áp suất. Cảm biến đo biến dạng là tương thích.
3. Cảm biến áp suất silicon khuếch tán:
Nguyên lý làm việc của cảm biến áp suất silicon khuếch tán cũng dựa trên hiệu ứng áp điện. Sử dụng nguyên lý hiệu ứng áp điện, áp suất của môi trường đo tác động trực tiếp lên màng ngăn của cảm biến (thép không gỉ hoặc gốm), do đó màng ngăn tạo ra sự dịch chuyển vi mô tỷ lệ thuận với áp suất của môi trường. Giá trị điện trở của cảm biến được thay đổi, thay đổi được phát hiện bởi một mạch điện tử và tín hiệu đo tiêu chuẩn tương ứng với áp suất được chuyển đổi và đầu ra.
4, cảm biến áp suất sapphire:
Sử dụng hoạt động chống biến dạng, silicon-sapphire được sử dụng như một cảm biến bán dẫn với phương pháp đo lường vô song. Do đó, các thành phần nhạy cảm bán dẫn làm từ silicon-sapphire không nhạy cảm với sự thay đổi nhiệt độ và có đặc tính vận hành tuyệt vời ngay cả trong điều kiện nhiệt độ cao; sapphire có khả năng chống bức xạ cực kỳ mạnh; Ngoài ra, các thành phần nhạy cảm bán dẫn silicon-sapphire, trôi Pn.
5, cảm biến áp suất áp điện:
Hiệu ứng áp điện là nguyên lý làm việc chính của cảm biến áp điện. Cảm biến áp điện không thể được sử dụng để đo tĩnh, bởi vì điện tích sau khi ngoại lực chỉ được lưu khi vòng lặp có trở kháng đầu vào vô hạn. Đây không phải là trường hợp, vì vậy điều này xác định rằng cảm biến áp điện chỉ có thể đo ứng suất động.