Nguyên tắc cơ bản của kính hiển vi điện tử quét
Chùm tia điện tử phát ra từ súng điện tử kính hiển vi điện tử quét được tập trung và ngưng tụ thành nguồn sáng điểm; nguồn sáng điểm tạo thành một chùm tia điện tử năng lượng cao dưới điện áp tăng tốc; chùm tia điện tử năng lượng cao tập trung vào một điểm sáng có đường kính nhỏ thông qua hai thấu kính điện từ và đi qua thấu kính cuối cùng Sau khi một thấu kính điện từ có cuộn dây quét, chùm tia điện tử bắn phá điểm bề mặt mẫu theo từng điểm một theo cách quét giống như raster, đồng thời kích thích tín hiệu điện tử ở các độ sâu khác nhau.