Phân loại theo lắng đọng hơi hóa học
Có nhiều phương pháp lắng đọng hơi hóa học, như CVD áp suất khí quyển (APCVD), CVD áp suất thấp (LPCVD), CVD chân không siêu cao (UHVCVD), lắng đọng hơi hóa học laser (LCVD), lắng đọng hơi hóa học kim loại (MOCVD) , lắng đọng hơi hóa chất tăng cường (PECVD), v.v.