Tổng quan về từ tính
Độ từ điện trở là một điện trở được tạo ra dựa trên hiệu ứng từ điện trở. Nó là một yếu tố cảm biến mới có thể thay đổi điện trở của nó dưới tác động của từ trường bên ngoài (bao gồm cả sự thay đổi cường độ và hướng của từ trường ứng dụng). Nó có thể được chia thành hai loại: từ tính nhạy cảm với màng mỏng kim loại từ tính bán dẫn và sắt từ.
Các hiệu ứng vật lý khác nhau (hiệu ứng Hall, hiệu ứng từ điện trở) của từ trường tác động lên dây dẫn đã được tìm thấy trong kim loại vào đầu năm 1879-1883, nhưng hiệu ứng này không đáng kể và đã không được sử dụng rộng rãi trong một thời gian dài. Sau sự ra đời của chất bán dẫn, các vật liệu bán dẫn hỗn hợp mới có tính di động cao, như indium antimonide (InSb), đã được phát triển vào nửa cuối những năm 1950, cũng thúc đẩy nghiên cứu, phát triển và ứng dụng các thiết bị Hall và các thiết bị từ tính.
Sự phát triển của từ tính bán dẫn bắt đầu vào đầu những năm 1960. Về mặt này, công ty Siemens của Đức có thẩm quyền hơn, tiếp theo là Nhật Bản, Hoa Kỳ, Liên Xô, Tây Âu và các nước khác. Vào giữa những năm 1960, đã có hàng hóa được bán. Do những ưu điểm của nó như điện trở thông thường, nó có hai thiết bị đầu cuối, cấu trúc đơn giản, độ nhạy cao và lắp đặt thuận tiện. Ứng dụng của nó là phổ biến hơn.
Thiết bị cảm ứng màng kim loại sắt từ là một thiết bị cảm ứng từ loại màng mỏng được làm bằng vật liệu hợp kim sắt từ, và nguyên lý hoạt động của nó là hiệu ứng từ tính của vật liệu sắt từ, khác với chất nhạy cảm bán dẫn ngoại trừ từ trường. Độ nhạy cường độ (cùng điểm với chất nhạy cảm bán dẫn) cũng rất nhạy cảm với hướng của từ trường (không giống như chất nhạy cảm bán dẫn). Vì màng không phải là vật liệu bán dẫn mà là hợp kim sắt từ, nó có hệ số nhiệt độ nhỏ, ổn định về hiệu suất và độ nhạy cao, đã được thương mại hóa và đưa vào sử dụng thực tế.
Bộ cảm ứng màng kim loại sắt từ là một cảm biến từ tính được phát triển bởi Tập đoàn Sony của Nhật Bản vào đầu những năm 1970. Nó phát triển nhanh chóng trong mười năm qua. Nó có thể được sử dụng để tạo thành nhiều cảm biến từ tính mới để đo chuyển vị vi mô, góc, tốc độ, dòng chảy, áp suất, v.v.