Mạch tích hợp được chế tạo trên bề mặt chip bán dẫn còn được gọi là mạch tích hợp màng mỏng. Một loại mạch tích hợp màng dày khác (mạch tích hợp lai) là một mạch thu nhỏ bao gồm các thiết bị bán dẫn độc lập và các thành phần thụ động được tích hợp vào chất nền hoặc bảng mạch.
Từ năm 1949 đến năm 1957, Werner Jacobi, Jeffrey Dummer, Sidney Darlington, Yasuo Tarui đã phát triển Prototype, nhưng các mạch tích hợp hiện đại được phát minh bởi Jack Kilby vào năm 1958. Vì điều này, ông đã giành giải Nobel Vật lý năm 2000, nhưng Robert Noyce, người cũng phát triển một mạch tích hợp hiện đại và thực tế cùng một lúc, đã qua đời sớm nhất là vào năm 1990.